AMC的来源和危害以及控制方法

发布时间:2020-01-02 16:48:49

       AMC全称为悬浮分子污染物,在洁净室这类空间场所当中,AMC的存在会对产品造成严重的缺陷以及影响产品的良品率,因此洁净室内必须得有效控制AMC的存在。接下来由合景净化给大家讲解一下AMC的来源和危害以及控制方法,大家感兴趣的话可以了解一下。


AMC的来源和危害以及控制方法


       1、AMC的来源及危害

       这些AMC来源有外部和内部之分。外部大气中会带有许多不同的污染物,沿海地区海水中会带来氯化钠;农业施肥过程中会有氨气、甲烷;酸雨中会有氮氧化合物、硫氧化物;山区常见的火山气体中有硫化氢、二氧化硫;风沙天的黄沙中带有钙、二氧化硫、氯化钠;而如今工业的飞速发展和生活水平的提高,汽车和焚烧炉会带出氮氧化合物、硫氧化物、臭氧,以及工厂废气中含有氮氧化合物、硫氧化物是相当严重的。尽管这些污染物会通过新风系统被消除很多,但仍然会有极少量被送入到洁净室内。

       而内部产生的AMC其实对制品的影响更为直接而且是防不胜防,因为它距离制品的距离更近。内部AMC来源有人呼吸中的污染物,特别是吸烟后呼出的气体,人走动的时候也会带来一些氨气和颗粒。设备、机台的维护过程中化学品的异常泄露、清洁溶剂的扩散以及设备冷却液的异常泄露,都会产生AMC。使用的建筑材料、涂料、胶水等尽管是高标准的,但仍有微量的AMC散发。甚至不起眼的乳胶手套也会释放微量的胺类物质。各种类别的AMC来源和危害见下图。


AMC来源和危害


       2、AMC的控制方法如下:

       大颗粒的悬浮物传统的方法是通过HEPA和ULPA来去除,由于制程精度的进一步提高,存在的AMC需要用更多的方法来清除。从源头进行控制是最容易也是最有效的。

       首先,洁净室内的洁净空气是由新风装置所得,而新风是从外气获得,外气中含有不少氮氧化合物、硫氧化物,而半导体工厂本身的废气排放装置所产生的废气对新风是有不小影响的。因为尽管排气装置对生产过程中的气体进行酸、碱、粉以及有机排气的处理,但是处理效率实际并不能达到100%(通常可以达到90%以上)。由于一般工厂产能的不断提高,会增设许多的动力设备,因此可以在增能的设计中将排气装置位置加高,使得处理后的气体可以更好的扩散开去,同时气体的排放装置和新风的采风口尽量离的远些,使得处理前的新风尽可能的干净。

       接着,外气进入新风装置,进行新风的处理,其中水喷淋装置可以将外气中可溶于水的一些酸碱物质进行溶解。喷淋装置的流量增大可以使得溶解的效率提高,同时确保水质的纯净,防止二次污染。

       外气在经过一系列的过滤处理后进入化学过滤器进行极小颗粒AMC的清除。化学过滤器是有选择的吸附气体,吸附分为物理吸附和化学吸附,物理吸附主要依靠范德华力,常温下可进行,温度越低,吸附力越强,此过程是可逆的。而要对氨气、甲醛等气体的吸附,需要对吸附剂进行化学处理,化学吸附一般是不可再生的,需要不定期的进行更换。吸附材料是关键部分,吸附材料有多种,活性炭、氧化铝、硅胶等等。其中最常用的是活性炭,它的比表面积巨大(700㎡/g-1500㎡/g),因此吸附能力突出。活性炭主要对有机气体进行吸附,而无机气体吸附能力较差。用部分氢氧化钾和氯化铁等混合过滤材料可以对活性炭进行性能的提升,提高对无机气体的吸附能力。化学过滤器一般采用V型过滤器,增大新风和过滤器的接触面,更有效的清除AMC。

       新风进入洁净室内,在一些特别的区域,比如光刻区域,极易受到AMC的影响,需要进行独立回风的控制,可以采用微正压的方式处理。原有的FFU上可以加装一层化学过滤器。可以更好的对微环境的空气进行进一步的处理。

       员工的操作规范,尽量避免一些化学品的泄露,对人员和制品都是一种保护,同时对新设备以及新的建筑材料,净化服尽量选择AMC散发量比较小的材料,在新设备刚进入时,可以将净化间的静压在一段时间内提高,更快速的将AMC物质挥发。

       关于AMC的来源和危害以及控制方法就讲解到这里了,大家若想了解更多洁净知识的话,可关注合景机电。

       合景净化是一家专业从事厂房车间净化的施工公司,公司有十多年的净化工程经验,目前在电子、生物制药、印刷包装、食品日化、光电光学、新能源、锂电池、医疗卫生等行业中建设了无数经典净化工程案例,还获得客户的一致高度认可。十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级无尘净化车间的设计、施工请联系合景净化,电话400 602 0222 / 18665110000
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